Introduction

• 使用Nano filter 把溶解到 Photo Resist的废液去除后 重复使用的系统

Application

• DPF (Developer Purification & Filtration System)

Introduction

• 把Developer的 现像液Sampling后 保持浓度（Alkali/Resist/碳酸盐）恒定的系统

Application

• DDS-11

管理项目

• Alkali 浓度 : 导电率测定
• 溶解Resist 成分 : 吸光度测定
• 碳酸盐浓度 : 折射率测定